日本ULVAC愛發(fā)科多功能真空搬運(yùn)機(jī)器人

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特征

有多種臂可供選擇，以適應(yīng)行程、轉(zhuǎn)彎半徑、傳輸板的數(shù)量等。

COVOT-CR4 采用磁流體密封進(jìn)行真空密封，可使用高達(dá) 10-6Pa 的高真空。

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